Quais são as estruturas dos fornos de recozimento?

1. Introdução ao forno de recozimento para venda

Forno de recozimento de fio é um processo usado na fabricação de dispositivos semicondutores, incluindo aquecimento de várias bolachas semicondutores para afetar suas propriedades elétricas. O tratamento térmico é projetado para efeitos diferentes. A bolacha pode ser aquecida para ativar os dopantes e converter a película fina na interface da carcaça da bolacha. Pode mudar o estado do filme crescente, reparar o dano implantado, mover o dopante ou transferir o dopante de um filme para outro ou do filme para o substrato da bolacha.

O forno de recozimento de fio pode ser integrado em outras etapas de processamento do forno, como oxidação, ou pode ser processado por si só. O forno de recozimento é completado por equipamentos especialmente projetados para aquecer wafers semicondutores. O forno de recozimento elétrico é um forno operacional periódico de economia de energia com uma estrutura super de economia de energia e uma estrutura de fibra que economiza 60% da eletricidade.

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2. A estrutura do forno de recozimento de fio

O esqueleto do forno de recozimento é soldado por vários aços de seção. O aço do canal é usado como o feixe principal para o quadro externo, a placa fina fria é usada para o acúmulo, o aço do canal é usado como o feixe principal para o carrinho, e a placa inferior e as placas dianteiras e traseiras da extremidade são placas médias.

(1) Parte da transmissão do forno de recozimento

O carrinho é conduzido por um motor e um redutor de velocidade através de uma corrente para conduzir um conjunto de rodas motrizes na extremidade dianteira. O acionamento da porta do forno adota uma combinação de redutor de turbina e motor elétrico para levantamento elétrico.

(2) Selo

O carrinho e o corpo do forno são selados com uma estrutura de labirinto, e há dispositivos automáticos de vedação de faca de vedação de areia em ambos os lados do carrinho. A porta do forno de recozimento é selada com um mecanismo automático de compressão de esteira rolante e compressão de mola. A parte do corpo do forno adota uma estrutura de tijolo refratário de alta qualidade para garantir a estanqueidade da câmara do forno. A parte resistente à pressão do carrinho é construída com tijolos de alta alumina, e a parte inferior é equipada com tijolos de isolamento para preservação do calor.

(3) Sistema de combustão do forno de recozimento do fio

Vários queimadores são instalados em ambos os lados do forno de óleo, e o fluxo de calor reciproca no forno para garantir a uniformidade da temperatura do forno. O tipo automático e o tipo semi-automático podem ser selecionados de acordo com as necessidades.

(4) Dispositivo de pré-aquecimento de exaustão de fumaça

Instale um dispositivo de pré-aquecimento de exaustão de fumaça na extremidade superior do forno. Quando o gás de combustão no forno passa através do pré-aquecedor, ele será pré-aquecido pelo ventilador com ar frio e, em seguida, enviado ao queimador pela tubulação para suportar a combustão, e um disco manual é instalado na válvula de saída, a válvula pode ajustar a pressão no forno. Fornos de recozimento de fio são amplamente utilizados no processo de aquecimento, resfriamento, condensação e evaporação em setores industriais, como indústria química, petróleo, alimentos, metalurgia, máquinas, indústria leve, energia elétrica, construção naval, fabricação de papel, mineração, medicina e aquecimento central.