O forno de recozimento de fio é um processo utilizado na fabricação de dispositivos semicondutores, incluindo o aquecimento de várias pastilhas semicondutoras para afetar as suas propriedades elétricas. O tratamento térmico é projetado para diferentes efeitos. A pastilha pode ser aquecida para ativar os dopantes e converter o filme fino na interface do substrato da pastilha. Pode mudar o estado do filme em crescimento, reparar o dano implantado, mover ou transferir o dopante de um filme para outro ou do filme para o substrato da pastilha.
O forno de recozimento de fio pode ser integrado em outros passos de processamento de forno, como oxidação, ou pode ser processado por si só. O forno de recozimento é completado por equipamento especialmente projetado para aquecimento de pastilhas semicondutoras. O forno elétrico de recozimento é um forno de operação periódica com economia de energia com uma estrutura super econômica e uma estrutura de fibra que economiza 60% de eletricidade.
Além do forno de solução elétrica de recozimento, a metal tech tem um forno de recozimento a gás, um forno de recozimento de solução LPG e um forno de recozimento a hidrogênio, que também são populares entre nossos clientes.
A estrutura do forno de recozimento é soldada por vários aços de seção diferentes. O aço em canal é usado como a viga principal para o quadro externo, a chapa fina é usada para o setorização, o aço em canal é usado como a viga principal para o carrinho, e a placa inferior e as placas frontal e traseira são de média espessura.
(1) Parte de transmissão do forno de recozimento
O carrinho é acionado por um motor e uma caixa de engrenagens através de uma corrente para acionar um conjunto de rodas motrizes na extremidade dianteira. O acionamento da porta do forno adota uma combinação de redutor de turbina e motor elétrico para elevação elétrica.
(2) Vedação
O carrinho e o corpo do forno são selados com uma estrutura de labirinto, e existem dispositivos automáticos de vedação com faca de vedação de areia em ambos os lados do carrinho. A porta do forno de recozimento é selada com um mecanismo automático de compressão de faixa de rolamento e compressão de mola. A parte do corpo do forno adota uma estrutura de tijolo refratário de alta qualidade para garantir a estanqueidade da câmara do forno. A parte resistente à pressão do carrinho é construída com tijolos de alta aluminoso, e a parte inferior é equipada com tijolos isolantes para conservação de calor.
(3) Sistema de combustão do forno de recozimento de fio
Vários queimadores são instalados em ambos os lados do forno a óleo, e o fluxo de calor recíproco no forno garante a uniformidade da temperatura do forno. O tipo automático e o tipo semi-automático podem ser selecionados de acordo com as necessidades.
(4) Dispositivo de pré-aquecimento dos gases de exaustão
Instala um dispositivo de pré-aquecimento dos gases de exaustão na extremidade superior do forno. Quando os gases de exaustão do forno passam pelo pré-aquecedor, estes serão pré-aquecidos pelo ventilador com o ar frio, e depois enviados para o queimador pela tubulação para suporte à combustão, e um disco manual está instalado na válvula de saída, a válvula pode ajustar a pressão no forno. Os fornos de recozimento de fio são amplamente utilizados nos processos de aquecimento, resfriamento, condensação e evaporação em setores industriais como química, petróleo, alimentos, metalurgia, maquinaria, indústria leve, energia elétrica, construção naval, fabricação de papel, mineração, medicina e aquecimento central.
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